多晶硅如何生产，生产多晶硅的原料是什么
生产多晶硅的原料是什么多晶硅的生产工艺主要由高纯石英（经高温焦碳还原）→工业硅（酸洗）→硅粉（加HCL）→SiHCL3（经过粗馏精馏）→高纯SiHCL3（和H2反应CVD工艺）→高纯多晶硅2，多晶硅片的制作流程推荐给你一个半导体技术专业网站,中国半导体网http://www.zgzo.com/参考资料：http://www.zgzo.com多晶硅http://baike.baidu.com/view/381366.htm3，高纯硅的生产流程sio2+c=co2+si（粗硅）si+4hcl=sicl4+...
更新时间：2023-06-13标签： 多晶硅如何生产原料多晶硅如何生产 全文阅读