如何检测硅片洁净度，无尘车间湿度控制问题为什么要控制湿度安庆有没有做无尘车间的
无尘车间湿度控制问题为什么要控制湿度安庆有没有做无尘车间的无尘车间湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，无尘车间湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产最佳温度范围为35—45%。无尘车间室温的湿度测试是检验净化车间内部稳定...
更新时间：2023-08-11标签： 如何检测硅片洁净如何检测硅片洁净度 全文阅读