ElectronicGradeHydrofluoricAcid电子级氢氟酸英文名:hydrofluoricacid,electronicgrade分子式:HF物化性质:氢氟酸是氟化氢的水溶液,为无色透明液体,在25℃时密度为1.15g/ml(50%HF)。对金属、玻璃、混凝土等具有强烈腐蚀性。用途:在集成电路制造工艺中主要用于硅片清洗、腐蚀工序,用时可与过氧化氢、氨水、硝酸、醋酸等配制使用。毒性与防护:有强烈腐蚀性,其蒸气具有刺激性,接触皮肤可引起严重烧伤且不易治愈,应先用大量水冲洗后就医。使用时应戴...
更新时间:2023-06-17标签: 硅片如何保存硅片清洗后如何保存ElectronicGradeHydrofluoricAcid 全文阅读